| 茅小海,李伟,黄洁.双面抛光机气动加载的建模与仿真[J].新技术新工艺,2011,(4): .[.The Modeling and Simulation of Pneumatic Loading System of Double-sided Polishing Machine[J]2011,(4):.] |
| 双面抛光机气动加载的建模与仿真 |
| The Modeling and Simulation of Pneumatic Loading System of Double-sided Polishing Machine |
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| DOI： |
| 中文关键词: 双面抛光机 气动加载 抛光压力 |
| 英文关键词:AMESim |
| 基金项目:国家自然科学基金资助项目(50775207)浙江工业大学机械电子重中之重学科开放基金资助项目 |
| 茅小海 李伟 黄洁 |
| 浙江工业大学机械工程学院,浙江,杭州,310014 |
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| 中文摘要: |
| 双面抛光机广泛用于硅片、蓝宝石、陶瓷、磁性材料、电子器材的表面超光滑无损伤的平整加工.气动加载系统是双面抛光机实现精密抛光非常关键的部分.抛光压力加载精度的高低直接决定了抛光机性能的好坏.本文利用法国AMESim软件对气动加载系统进行建模,通过仿真得出了一组最佳PID参数,满足了系统要求,并使系统性能得到提高. |
| 英文摘要: |
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