| 曹延军.透明导电ITO薄膜的制备及光电特性的研究[J].新技术新工艺,2011,(4): .[.Research on Optical and Electrical Properties of Transparent Conductive ITO Films[J]2011,(4):.] |
| 透明导电ITO薄膜的制备及光电特性的研究 |
| Research on Optical and Electrical Properties of Transparent Conductive ITO Films |
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| DOI： |
| 中文关键词: ITO薄膜 溶胶-凝胶法 光电特性 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 曹延军 |
| 延安职业技术学院,陕西,延安,716000 |
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| 中文摘要: |
| 采用溶胶-凝胶方法以In(NO3)3.4.5H2O和SnCl4.5H2O为前驱物,用提拉法在石英玻璃基体上制备了ITO透明导电薄膜.详细研究了不同掺Sn比例、不同金属离子浓度、不同提拉速度、不同烘烤温度对ITO薄膜光电特性的影响.结果表明,提拉法制备的薄膜在热处理过程中由凝胶状态向结晶态逐渐转变,方电阻随热处理温度的升高而降低;导电率随薄膜厚度的增加呈非线性增加. |
| 英文摘要: |
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